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本申请公开了压力传感器及其制作方法。其中,该压力传感器包括:衬底;设于所述衬底一侧的压力感测器件;封装壳体,所述封装壳体覆盖所述衬底的所述一侧上,且封装壳体上设有腔体,所述腔体设置在所述压力感测器件上,且所述压力感测器件的上表面中的至少部分感测区域裸露于所述腔体的底部;其中,所述压力感测器件的上表面设有隔离结构,所述隔离结构用于隔离外部物体作用于所述感测区域。上述方案,能够提高压力传感器的制作良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112014026 A
(43)申请公布日
2020.12.01
(21)申请号 20191
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