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本实用新型公开了一种适用于废气处理设备的顶盖降温装置，涉及半导体行业废气处理设备技术领域，包括反应腔顶盖，所述反应腔顶盖下端设有连接槽，本实用新型结构简单，制造简单，实用性高，通过在反应腔顶盖和反应腔腔体之间设计一个隔热棉，使得反应腔顶盖和反应腔腔体之间有一个夹层，达到初步隔热降温的目的，再通过给反应腔顶盖通压缩空气，压缩空气从夹层中间部位流入至反应腔腔体内，带走反应腔顶盖的热量，从而使反应腔顶盖温度降低，解决现有技术中高温度的反应腔腔体通过热传导造成反应腔顶盖因温度过高导致的设备器件损坏和对人
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210332617 U
(45)授权公告日
2020.04.17
(21)申请号 20192
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