一种超精密机床主轴在线精度分析方法与系统.pdfVIP

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2023-09-07 发布于四川
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一种超精密机床主轴在线精度分析方法与系统.pdf

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本发明公开了一种超精密机床主轴在线精度分析方法与系统，包括：通过径向电容位移传感器和轴向电容位移传感器分别采集主轴轴线径向位移运动值和轴向位移运动值，通过主轴增量式旋转编码器采集主轴轴线的正弦转速信号；位置数据信号传输转换装置将正弦转速信号转换为数字信号，得到数字形式的主轴实时的转速和转角位置信息，并发送至主轴回转误差分析仪；主轴回转误差分析仪基于转速、转角位置信息、径向位移运动值和轴向位移运动值，通过最小二乘法计算主轴径向回转精度和轴向回转精度。本发明数据采集准确、可靠性高，适用于超精密机床主

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115541225 A (43)申请公布日 2022.12.30 (21)申请号 202211339454.2 G01D 5/347 (2006.01) (22)申请日 2022.10.