一种真空吸附平台和贴合吸附装置.pdfVIP

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2023-09-07 发布于四川
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一种真空吸附平台和贴合吸附装置.pdf

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本发明提出了一种真空吸附平台和贴合吸附装置，属于半导体技术领域，用以解决薄膜贴附或封装工艺中对位精度差的技术问题。本发明真空吸附平台包括吸附平台，用于产品的吸附贴合；所述吸附平台上设有透光模块，透光模块包括一个或多个透明区域，光线从透明区域内透过；在对位吸附过程中，产品上的Mark点落入透明区域内。本发明通过在吸附平台上设置透明区域，实现了对位系统对Mark的实时跟踪抓取，若在贴合对位时出现偏差，可进行及时反馈，提高对位的精度。通过多个透明区域的设置，能够保证多各种尺寸产品的Mark均能落入透明

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116705685 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310775253.5 (22)申请日 2023.06.28 (71)申请人固安翌光科技有限公司地址 06