一种基板单面和侧面清洗装置以及清洗方法、清洗流水线.pdfVIP

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2023-09-07 发布于四川
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一种基板单面和侧面清洗装置以及清洗方法、清洗流水线.pdf

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本发明公开了一种基板单面和侧面清洗装置以及清洗方式、清洗流水线，上述的基板单面和侧面清洗装置包括腔室，腔室内具有密闭空间；旋转台面可转动的设于密闭空间内；支撑限位部设置在旋转台面上；顶升部设置在支撑限位部的下方，用于通过驱动支撑限位部将基板顶升的同时露出基板的侧面；侧面清洗部和表面清洗部可同向滑动的设置在密闭空间内；药液喷淋部设置在腔室的内壁上；本发明通过增设间隔设置的侧面清洗部和表面清洗部，并由顶升部配合将基板顶升后露出任意的侧面，对基板进行单面和同侧重复清洗或单面和两个侧面的清洗，提升了基板

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116705661 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310765357.8 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人若名芯装备（苏州）有限公司地址