原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及物理气相沉积硬质涂层，具体公开了一种Ta‑C多层硬质涂层。本发明采用Ti靶和石墨靶，涂层制备过程包括：步骤一：等离子清洗；步骤二：沉积Ti打底层；步骤三：制备Ti和碳结合体层；步骤四：沉积四面体无定型无氢非晶碳层。本发明的物理气相沉积Ta‑C涂层采用离子溅射及辉光放电技术相结合工艺，具有制备工艺简单，沉积温度低、无污染、耗材少以及成膜均匀致密等特点。本发明的Ta‑C涂层硬度接近金刚石硬度，具有硬度更高、自润滑性更好以及摩擦系数更低等优点。本发明的Ta‑C涂层应用于软金属加工刀具及塑胶成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 106893987 A
(43)申请公布日
2017.06.27
(21)申请号 20171
文档评论（0）