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本实用新型提供一种加热装置及光刻系统，该加热装置包括承载板，用于承载待加热的基板并自基板的背面对基板进行加热；位于承载板上方与承载板间隔设置的加热板，加热板自基板的正面对基板加热以进行温度补偿，加热板设置为对基板进行分区域的温度补偿。能够针对基板的不他区域进行不同的温度补偿，一方面能够提高温度补偿的效率与精度，另一方面也能够降低温度补偿的功耗。加热板包括多个放热源，并且每一个放热源均包括加热单元和控制该加热单元的控制单元，由此能够更加准确地控制需要温度补偿的区域的补偿温度，并且放热源具有聚焦部件
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210348199 U
(45)授权公告日
2020.04.17
(21)申请号 20192
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