一种多工位曝光装置.pdfVIP

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2023-09-08 发布于四川
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本实用新型公开了一种多工位曝光装置，包括机座，所述机座上设置有工作平台，所述工作平台上设置有上下料工位、定位检测工位和曝光工位，所述工作平台上转动安装有载物转盘，所述载物转盘的板面覆盖所述上下料工位、定位检测工位和曝光工位，所述载物转盘由旋转动力装置驱动旋转，所述工作平台上位于定位检测工位处安装有对定位检测工位上的工件进行定位检测的定位检测装置，所述工作平台上位于曝光工位安装有对曝光工位上的工件进行曝光的曝光机构，所述机座上安装有在上下料工位进行上下料操作的上下料机构。该多工位曝光装置在曝光的过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210348195 U (45)授权公告日 2020.04.17 (21)申请号 20192