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2023年通信电子计算机技能考试-集成电路制造工艺员考试历年真题荟萃版附带答案
第一卷
一.参考题库(共60题)
1.干氧氧化法具备以下一系列的优点()。
A、生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B、生长的二氧化硅干燥
C、生长的二氧化硅结构致密
D、生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E、生长的二氧化硅掩蔽能力强
2.在对层间绝缘膜进行CMP时,层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化()。
A、电路图形结构的凹凸
B、尺寸大小
C、位置分布
D、高度
E、密集程度
3.采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是()的。
A、结晶形态
B、非结晶形态
C、可能是结晶形态的,也可能是
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