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一种晶圆位置校准方法及设备.pdfVIP

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  • 2023-09-10 发布于四川
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一种晶圆位置校准方法及设备.pdf

    本申请提供一种晶圆位置校准方法及设备，晶圆放置于晶圆载台，方法包括：控制超声波发生器向晶圆发射第一声波，由于超声波发生器、超声波接收器和晶圆部分交叠，因此第一声波具有未被晶圆阻挡的部分，可以控制超声波接收器接收未被晶圆阻挡的第一声波。根据未被晶圆阻挡的第一声波计算得到晶圆的中心位置偏移晶圆载台的中心位置的偏移方向和偏移值，就可以根据偏移方向和偏移值定位晶圆在晶圆载台上的位置，实现利用超声波对晶圆的精准定位。在对晶圆定位之后，可以控制机械手臂根据偏移方向和偏移值调整抓取晶圆的位置信息，也就是说，对

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116721960 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202311011509.1 (22)申请日 2023.08.11 (71)申请人 江苏鲁汶仪器股份有限公司 地址

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