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- 2023-09-10 发布于四川
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提供了一种垂直型存储器装置及其制造方法，所述装置包括：衬底，具有单元阵列区域和连接区域；栅电极层，堆叠在衬底的单元阵列区域和连接区域上，栅电极层在连接区域中形成阶梯结构；单元通道层，在单元阵列区域中，单元通道层穿过所述多个栅电极层；虚设通道层，在连接区域中，虚设通道层穿过所述多个栅电极层中的至少一个栅电极层；单元外延层，设置在单元通道层下方；以及虚设外延层，设置在虚设通道层下方，其中，虚设外延层的形状与单元外延层的形状不同。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109309097 A
(43)申请公布日
2019.02.05
(21)申请号 20181
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