一种跟随式雾化喷淋挡板密封机构.pdfVIP

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2023-09-10 发布于四川
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一种跟随式雾化喷淋挡板密封机构.pdf

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本实用新型属于平板蚀刻机技术领域且公开了一种跟随式雾化喷淋挡板密封机构，滑槽设置于隔板的上部；挡液端板设置于挡液板固定件的两端，并且挡液端板与隔板的两端连接；挡液板上固定槽设置于其中一个挡液板固定件的底部的外边缘；挡液板下支撑槽设置于另一个挡液板固定件的顶部的外边缘，其中，挡液板上固定槽、挡液板下支撑槽、挡液板固定件与隔板之间形成一个限位槽；后挡液板设置于滑槽的内部；前挡液板设置于所述滑槽的内部，并且所述前挡液板的一端与所述后挡液板的一端连接，以实现前挡液板和后挡液板可在限位槽的内部前后移动。本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210381509 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192