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本实用新型公开了一种显影机喷头结构，包括显影液主进液管，所述显影液主进液管的下方连通设置有缓存腔，所述缓存腔的下方连通设置有一组呈直线排列的喷头，该组喷头的长度与被显影晶片的直径相适配。为保证晶片上显影液的均匀性，减少流失，所述喷头间隔设置，且该组喷头的喷嘴孔径从中间向两边逐渐递减。本实用新型大大提高了显影液的喷洒效率，降低了生产成本。同时，可以方便调整喷头的数量和间距，满足不同晶片的显影要求，可广泛应用于晶片显影技术领域。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210377027 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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