一种团簇式镀膜设备.pdfVIP

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2023-09-10 发布于四川
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一种团簇式镀膜设备.pdf

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本实用新型公开了一种团簇式镀膜设备，包括上下料室、多个真空镀膜装置以及真空传输室；真空传输室包括传输腔体、与传输腔体连接的第一真空系统以及固定设置在传输腔体内的机械手；上下料室、多个真空镀膜装置分别与传输腔体连接。本实用新型提供的团簇式镀膜设备，通过机械手实现产品在上下料室及多个真空镀膜装置间的传输，保证产品按照工艺需求依次完成各个膜层的沉积，并将完成后的产品送回上下料室，在真空内完成产品的不同镀膜工艺流程传送，避免产品在镀膜过程中由于不同工序的产品转移暴露大气引起的质量问题，采用真空机械手，在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210367891 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192