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- 2023-09-11 发布于四川
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一种高基频石英晶片,包括晶片基板和电极,所述晶片基板表面镀有所述的电极,其特征在于:所述晶片基板的上下表面的同一位置分别设置有上凹槽和下凹槽,所述上凹槽和下凹槽的中心分别镀有电极。本实用新型抛弃了传统的平面设计思路,在晶片的两面设计凹槽,这样做可以减小前段工序加工难度,解决传统工艺加工的极限问题,使晶片频率更高,加工合格率更高,效率更高,参数一致性更好,从而提高谐振器的频可靠性,一致性,稳定性,同时也降低加工成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210380790 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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