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超高真空用精密压电陶瓷摆动台.pdfVIP

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  • 2023-09-11 发布于四川
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超高真空用精密压电陶瓷摆动台.pdf

    本实用新型公开了一种超高真空用大行程精密压电位移台，包括两个交叉滚珠导轨，每个交叉滚珠导轨包括第一导轨体、第二导轨体和导轨保持架，所述导轨保持架位于第一导轨体和第二导轨体之间，所述导轨保持架同时与第一导轨体和第二导轨体耦合。本实用新型公开的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，结构简单、尺寸较小、运动范围较大、漂移范围较小，在一个方向运动的同时不会在其他方向产生晃动。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210380693 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192

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