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一种射频电源.pdfVIP

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  • 2023-09-11 发布于四川
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一种射频电源.pdf

    本实用新型公开了一种射频电源，该射频电源中，在对功率调整及阻抗匹配模块输出的射频交流电进行采集时，充分考虑到环境温度对采样的影响，从而设置了恒温采样电路，恒温采样电路将其所处的环境温度保持在预设温度范围内，并采集射频交流电，以便后续根据该射频交流电调整输出至负载的射频交流电，从而尽量减小甚至避免了环境温度对射频交流电的影响，提高了射频交流电的采集精度，也提高了射频电源的输出电源的精度，减少了射频电源的输出电源的调整时间。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210380678 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192

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