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本实用新型提供了一种激光传输和探测系统,包括传输系统和探测系统,传输系统包括激光器、真空管、CCD探测组件,CCD探测组件包括检测探测器、缩束器、密封仓、波纹管、光栅尺、位移驱动器;激光器连接真空管,缩束器、检测探测器依次设置,检测探测器通过位移驱动器连接并固定在密封仓内,密封仓内通过机械结构固定有光栅尺,密封仓固定在被测基准上,密封仓通过波纹管固定在真空管上;探测系统包括:数据采集单元、数据处理单元、数据储存单元连接工控机,数据采集单元连接检测探测器。本实用新型提供的一种激光传输和探测系统,能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210375415 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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