原创力文档- 1
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- 2023-09-11 发布于四川
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一种新型的硅片承载器，它涉及硅片生产设备技术领域；硅片层架的两端分别通过调节机构固定有上金属挡板和下金属挡板，上金属挡板与下金属挡板的中部连接有缓冲杆，缓冲杆的两侧分别设置有硅片定位杆，硅片定位杆的两端分别通过螺丝与上金属挡板和下金属挡板固定；上金属挡板和下金属挡板上分别设置有模块安装槽，模块安装槽内配合安装有模块，模块和模块安装槽内分别设置有螺丝孔，螺丝穿过螺丝孔与硅片层架固定；所述的硅片定位杆上中部设置有与硅片层架层距一致的隔条，隔条的两侧分别设置有缓冲塑料条；所述的硅片层架上固定有数根螺纹
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210378994 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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