一种芯片喷涂膜层厚度检测装置.pdfVIP

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2023-09-11 发布于四川
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一种芯片喷涂膜层厚度检测装置.pdf

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本实用新型公开了一种芯片喷涂膜层厚度检测装置，包括检测盒体和探头，所述检测盒体底部设有支撑框，所述支撑框的两侧垂直连接有竖杆，所述检测盒体设有容纳所述竖杆滑动的滑腔，所述滑腔内设有弹簧，所述弹簧的一端与滑腔内壁相连，另一端与所述竖杆相连，所述弹簧未受外力时，所述支撑框的底面低于所述探头的底面；所述检测盒体设有限位机构，所述竖杆设有下限位槽，当所述支撑框的底面与所述探头底面位于同一平面时，所述限位机构与所述下限位槽相匹配。采用本实用新型提供的检测装置测量时，可依靠支撑框站立，不需手扶，且支撑框能够

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210375073 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192