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磁控溅射金属薄膜的制 备
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1 绪论
磁控溅射薄膜金属的制备
黎明
烟台大学环境与材料工程学院 山东烟台 111
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摘 要: 金属与金属氧化物在气敏、光催化与太阳能电池等方面有着极为重要的应用，通过磁控溅射法制备的 金属氧化物薄膜，具有纯度高、致密性好、可控性强、与基底附着性好等优点，因此磁控溅射技术被广泛应用 于工业化生产制备大面积、高质量的薄膜。我们通过磁控溅射法制备了氧化铜纳米线阵列薄膜，并研究了其气 敏性质；除此之外，我们还通过磁控溅射法制备了 TiO2/WO3 复合薄膜，研究了两者之间的
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