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疏水承载板及其制备方法、光刻胶旋涂装置和旋涂工艺.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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疏水承载板及其制备方法、光刻胶旋涂装置和旋涂工艺.pdf

    本发明提供一种疏水承载板及其制备方法、光刻胶旋涂装置和旋涂工艺，疏水承载板包括：承载板，所述承载板具有相对设置的正面和背面，所述承载板的背面包括适用于固定所述承载板的固定区和环绕所述固定区的疏水处理区；疏水层，位于所述疏水处理区和/或所述承载板的侧壁，且所述疏水层未覆盖所述承载板的正面，所述疏水层背离所述承载板的表面具有疏水面。所述疏水承载板的正面制备得到的光刻胶层厚度均匀性较高且避免光刻胶层爬行到承载板的背面。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116736639 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310732901.9 (22)申请日 2023.06.19 (71)申请人 长电集成电路 （绍兴）有限公司 地

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