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- 2023-09-13 发布于四川
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本公开涉及一种功率器件，所述功率器件划分为元胞区、过渡区和终端区，所述功率器件包括：衬底；第一外延层，设置于所述衬底上方；第二外延层，设置于所述第一外延层上方；多个体区，设置于所述第二外延层中；多个元胞区沟槽，设置于元胞区的所述第二外延层中；多个过渡区沟槽，设置于过渡区的所述第二外延层中；多个终端区沟槽，设置于终端区的所述第二外延层中；其中，所述过渡区沟槽底部和终端区沟槽底部的介质层厚度均大于所述元胞区沟槽底部的介质层厚度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210403735 U
(45)授权公告日
2020.04.24
(21)申请号 20192
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