一种热电堆传感器及制备方法.pdfVIP

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2023-09-13 发布于四川
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一种热电堆传感器及制备方法.pdf

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本发明公开了一种短波红外探测器及其制备方法，包括：热电堆结构板，所述热电堆结构板具有支撑结构和热辐射感应区；顶盖结构，所述顶盖结构包括第二半导体基板，所述第二半导体基板具有深凹槽；底盖结构，所述底盖结构包括第二半导体基板，所述第三半导体基板具有深凹槽，在所述深凹槽底部的第三表半导体基板表面具有吸气剂图形层；所述顶盖结构的深凹槽和热电堆结构板构成第一空腔，热电堆结构板和底盖结构的深凹槽构成第二空腔，所述热辐射感应区被第一空腔和第二空腔包围，提高了器件的集成度和性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116744766 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310883492.2 (22)申请日 2023.07.18 (71)申请人镭友芯科技（苏