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本发明的实施例提供了一种碳化硅长晶炉循环水冷却系统及其控制方法，涉及冷却系统技术领域。在通常情况下，例如春季、秋季以及冬季下冷却水的常温较低，系统以自来水作为冷源，就能够满足对长晶炉的冷却需求；在环境温度大于或等于预设高温时，例如夏季，系统以空气源热泵输出的冷水作为换热器的冷源，以满足对长晶炉的冷却需求；在停电等极端情况下时，泵组、换热器等设备不能使用，但是长晶炉仍需要持续的冷却，此时，系统直接将自来水通入长晶炉，保证对长晶炉的冷却效果。这样，系统就能够满足长晶炉在一年四季以及某些极端情况下的冷
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116732616 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310717733.6
(22)申请日 2023.06.16
(71)申请人 通威微电子有限公司
地址 610
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