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本申请提供的多视场检测光学系统波前误差的检测装置及检测方法，激光器(1)发出的光经过所述准直透镜(2)变成平行光，平行光入射到激光分束器(3)上，经激光分束器(3)分成多束平行光(4)，且多束平行光(4)的倾斜角度与光学系统(5)的视场角相同，多束平行光(4)以与光学系统(5)的视场角相同的角度入射至所述光学系统(5)并汇聚到所述光学系统(5)的像面CCD(6)上，并在所述像面CCD(6)上形成多束平行光(4)对应的实际像点(7)，利用多个视场的所述实际像点(7)位置减去对应视场理想像点位置，将
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116735163 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310720681.8
(22)申请日 2023.06.16
(71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物
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