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一种超高真空旋转驱动器.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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一种超高真空旋转驱动器.pdf

    本实用新型公开了一种超高真空旋转驱动器，包括腔体和分别连接在其两端的前端盖和后端盖，所述前端盖上转动插接有输入轴，输入轴位于腔体内的一端连接有转盘，转盘的另一侧偏心连接有连接轴的一端。本实用新型专利可以完全替代磁流体密封，并且避免了磁流体密封容易产生的失效、泄漏、密封难以控制等问题；该旋转驱动器通过波纹管密封的方式，该种密封方式较为有效，而且可以有效避免用磁流体等方式密封所采用的高精度零部件而产生的加工困难。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210397479 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

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