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本发明涉及一种阵列器件的测试电路及装置，其中，测试电路包括源表、第二开关、第三开关和输出接口；第二开关和第三开关为相同的多通道模拟开关；第二开关的固定端连接源表的force端，第三开关的固定端连接源表的sense端；第二开关和第三开关的各开关通道端口分别通过输出接口的转接与阵列器件的各被测端口分别连接；在对阵列器件进行直流特性测试时，源表的force端通过第二开关的开关通路将输出电压加载到阵列器件的一个被测端口中；同时，源表的sense端通过第三开关的开关通路采集加载到被测端口的驱动电压值。本发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116741257 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310693284.6
(22)申请日 2023.06.12
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 1
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