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一种硅片盒清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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一种硅片盒清洗装置.pdf

    本实用新型公开了一种硅片盒清洗装置，包括清洗室、隔板、超声波换能器以及及控制系统，位于右腔室的隔板底部设置一驱动电机，所述驱动电机的输出轴穿过隔板、右腔室的底部活动连接有能够使液体流动用于清洗硅片盒的清洗槽，所述清洗槽位于右腔室内；所述清洗槽包括清洗槽体、溢流盘及卡固架，所述溢流盘的下盘面固定连接有转轴，所述转轴穿过清洗槽体的底部与驱动电机的输出轴活动连接，所述溢流盘的上盘面与卡固架的底部卡扣连接，所述卡固架用于稳固支撑硅片盒。本实用新型的清洗槽内设置的溢流盘随驱动电机转动，能使硅片盒在液体中流

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210386880 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

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