原创力文档- 6
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- 2023-09-13 发布于四川
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本实用新型公开一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；包括带有烘烤功能的烤箱本体，该所述的烤箱本体的两侧内壁均设置有上下间隔均匀的若干组横向挂杆；两侧的横向挂杆均对称设置，而每一组横向挂杆则均包括有若干个纵向间隔均匀的单个横向挂杆组成；而两侧相对应的每组横向挂杆上还均设置有L形状结构的挂板。本实用新型的烤箱内部的空间可自由自主的分隔成可大可小的不同层数的储存空间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210399765 U
(45)授权公告日
2020.04.24
(21)申请号 20192
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