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一种安全使用HNO3溶液的方法.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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一种安全使用HNO3溶液的方法.pdf

    本发明公开了一种安全使用HNO3溶液的方法，其工艺方法包括以下步骤：S1、首先需要将HNO3桶、脉冲流量计、密封连接装置、隔膜泵和酸洗槽进行实时安装固定在相应位置处，并将HNO3桶、密封连接装置、脉冲流量计、隔膜泵和酸洗槽之间相互通过管道进行贯通连接，将酸排管路通过对空管进行实时与密封连接装置贯通安装在一起；S2、然后通过将酸洗槽增加一路HNO3进液管路，包含隔膜泵和脉冲流量计，将隔膜泵进液管路插入HNO3桶内，即可实现自动加液控制。本发明通过增加隔膜泵和脉冲流量计以及密封连接装置,有效的保证了

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116727340 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310303455.X (22)申请日 2023.03.27 (71)申请人 中环领先半导体材料有限公司

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