一种负锥度微结构快速制造的激光加工系统和方法.pdfVIP

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2023-09-13 发布于四川
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一种负锥度微结构快速制造的激光加工系统和方法.pdf

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一种负锥度微结构快速制造的激光加工系统和方法，包括激光发生器、扩束镜、动态偏转扫描模块、平移模块、移动平台和协同控制模块；所述动态偏转扫描模块将从所述扩束镜输出的光线进行偏转和焦点移动；所述平移模块将从所述动态偏转扫描模块输出的光线进行平移实现光线不同锥度的倾斜；所述移动平台对被加工件进行高精度大范围自由移动；所述协同控制模块与所述激光发生器、所述动态偏转扫描模块、所述平移模块和所述移动平台相连实现运动的协同控制以对被加工件进行负锥度加工。本发明提高了激光加工的效率，拓宽了激光加工微结构的结构范

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116727866 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310472811.0 (22)申请日 2023.04.27 (71)申请人厦门大学