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第 卷第 期 探测与控制学报 Ｖｏｌ．４３Ｎｏ．５
４３ ５
年 月 Ｏｃｔ．２０２１
２０２１ １０ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＤｅｔｅｃｔｉｏｎ＆ Ｃｏｎｔｒｏｌ
ＭＥＭＳ安全与解除隔离装置发展现状及趋势
席占稳，聂伟荣，曹 云
（南京理工大学机械工程学院，江苏南京 ）
２１００９４
摘 要： 技术是未来提升武器性能最有发展前途的技术之一，引信 安全与解除隔离（ ）装
ＭＥＭＳ ＭＥＭＳ Ｓ＆Ａ
置具有体积小、成本低，易于和引信起爆控制电路集成等优点，国内外对ＭＥＭＳ安全与起爆技术开展了深入的
研究。针对引信 ＭＥＭＳ Ｓ＆Ａ装置研究进展，在收集、分析国内外大量文献资料的基础上，总结了引信 ＭＥＭＳ
Ｓ＆Ａ装置发展现状及趋势。按照解除隔离的驱动力类型，将 ＭＥＭＳ Ｓ＆Ａ装置划分为惯性力驱动、电热驱动、
火药能量驱动三种类型。结合各类型典型装置的分析，分别总结了其技术特征，研判出 ＭＥＭＳ Ｓ＆Ａ装置发展
的三个趋势：硅基工艺制作 ＭＥＭＳ Ｓ＆Ａ装置的结构以分层平行基板式，体积更小，更适于大规模生产；微火工
品集成在 装置中一体化设计制造； 装置、含能材料设计与制作在一片或多片芯片
ＭＥＭＳ Ｓ＆Ａ ＭＥＭＳ Ｓ＆Ａ
上，并与微电子系统集成出片（状）上引信。
关键词： ；安全与解除隔离装置；惯性力驱动；电热驱动；火药气体驱动
ＭＥＭＳ
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
ＴＪ４３ Ａ １００８１１９４２０２１０５０００１１４
－ － －
ＡｎＯｖｅｒｖｉｅｗ ｏｎｔｈｅＤｅｖｅｌｏ ｍｅｎｔｏｆＭＥＭＳＳ＆ＡＤｅｖｉｃｅ
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