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一种全新的物理气相沉积钛腔体磁控装置.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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一种全新的物理气相沉积钛腔体磁控装置.pdf

    本实用新型公开了一种全新的物理气相沉积钛腔体磁控装置，包括安装箱，所述安装箱的一侧外壁焊接有倾斜设置的固定架，且固定架底部外壁通过轴承固定有第一齿轮，所述安装箱顶部外壁通过轴承固定有L形安装板，且L形安装板顶部外壁的一侧设置有永磁体，所述安装箱顶部内壁和底部内壁的一侧通过轴承固定有同一个第二齿轮，且安装箱顶部内壁和底部内壁的另一侧通过轴承固定有同一个第三齿轮。本实用新型该磁控装置，磁力线在靶材表面分布更均匀，从而提高靶材的利用率，节省生产成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210394508 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

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