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本申请提供了一种晶圆盒载具，包含该载具的晶圆盒清洗设备及使用该晶圆盒载具进行晶圆盒清洗的方法，旨在解决现有技术中晶圆盒载具存在的结构复杂、操作成本高、晶圆盒部件与清洗液接触不充分、清洗液排出困难等技术问题。本申请公开的晶圆盒载具不仅结构简单，且具有高效的清洗能力，能够通过载具的转动使得清洗时晶圆盒部件内壁与清洗液充分接触，从而提高清洗效果，清洗结束后清洗液可以彻底排出，防止对后续的处理工序带来不便。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116741678 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310656544.2
(22)申请日 2023.06.05
(71)申请人 江苏芯梦半导体设备有限公司
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