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一种弹性波装置、高频模块及通信装置,能减少贯通电极相对于支承层及盖层的相对移动。盖层包括树脂及填料。贯通电极中盖层的贯通部包括第1部分,支承层的贯通部包括第2部分。在以第2方向为法线方向的一个截面中,第1部分的第3方向的宽度在第1位置比距基板的距离长于第1位置的第2位置宽,在第1位置与第2位置之间随着距第1位置的距离变短而逐渐变宽。基板的厚度方向的第1方向与第2方向及第3方向正交,第3方向与第2方向正交。在所述一个截面中,第2部分的第3方向的宽度在第3位置比距基板1的距离长于第3位置的第4位置窄
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219678430 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320761420.6
(22)申请日 2023.04.07
(30)优先权数据
2022-106565 202
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