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采用3D涂布法的沟槽玻璃钝化系统及相应的钝化工艺.pdfVIP

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  • 2023-09-14 发布于四川
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采用3D涂布法的沟槽玻璃钝化系统及相应的钝化工艺.pdf

    本发明公开了一种采用3D涂布法的沟槽玻璃钝化系统，包括加压釜、至少一个控制阀、涂布器、显微摄像头、计算机控制装置、光电检测模块和真空硅片台。本发明还公开了一种采用3D涂布法的沟槽玻璃钝化工艺。本发明能够实现将玻璃粉按沟槽位置精确覆盖，并能够大量减少玻璃粉用量，且无丙酮使用成本。本发明适用于所有采用沟槽工艺生产的GPP二极管以及其他GPP工艺产品的钝化技术领域。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109786295 A (43)申请公布日 2019.05.21 (21)申请号 20191

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