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本实用新型公开了一种物料传送装置,涉及物料传送技术领域,包括真空传送架主体,所述进料口低真空舱内部中心固定连接有传递装置,且传递装置顶端中心固定连接有物料架,所述进料口低真空舱一端固定连接有隔断阀。本实用新型通过设有隔断阀,保证其传送过程传送舱内部的真空状态,在物料或半导体到达传递装置顶部时,驱动伺服电机,转动驱动杆,驱动杆通过螺纹带动驱动模块在传递装置内部进行反复滑动,由于传递架多节设计,由驱动模块的滑动使传递架进行伸缩,实现长距离传送,通过改变多节串联的菱形铰链对焦点的位移,按几何倍数的增减
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219669419 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202321019797.0
(22)申请日 2023.05.03
(73)专利权人 四川景恒科技有限公司
地址 6
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