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本实用新型提供了一种探针夹持结构，涉及芯片检测领域，包括磁吸底座，转动盘结构，转动的设置在磁吸底座上；三维移动台，设置在转动盘结构上；探针臂，设置在三维移动台上并在三维空间内移动，探针臂包括安装座，安装座与三维移动台连接，安装座上设置有探针悬臂，探针悬臂的另一端设置有探针安装座，探针悬臂沿x轴方向设置，安装座上还设置有驱动探针悬臂绕x轴转动的悬臂调节杆，其中，转动盘结构调整探针的角度，三轴移动台调整探针的空间位置，使得探针可以针对需要检测的检查点，同时探针臂转动，使得多个探针尖所在的平面与半导体
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219676058 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320451841.9
(22)申请日 2023.03.10
(73)专利权人 长沙翼望半导体
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