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本实用新型提供了一种石墨加热器及碳化硅生长设备，涉及碳化硅生长设备技术领域。该石墨加热器包括多个加热组件。加热组件包括承接部和三个围挡部；围挡部的一端连接于承接部，三个围挡部间隔的设置，且三个围挡部远离承接部的一端用于分别接入三相交流电源的R端、S端和T端。多个加热组件的多个围挡部共同围成包容坩埚的容置空间；多个承接部用于承载坩埚。本实用新型提供的碳化硅生长设备采用了上述的石墨加热器。本实用新型提供的石墨加热器及碳化硅生长设备可以改善现有技术中加热效率不能满足坩埚的加热需求的技术问题。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219670710 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320610810.3
(22)申请日 2023.03.24
(73)专利权人 通威微电子有限公司
地址 61
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