具有雾化效率监测功能的纯水雾化系统、ICP刻蚀机.pdfVIP

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2023-09-14 发布于四川
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具有雾化效率监测功能的纯水雾化系统、ICP刻蚀机.pdf

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本实用新型公开了一种具有雾化效率监测功能的纯水雾化系统，包括水流量计、雾化器、第一进水管路、第一进水阀门、第一蒸气管路、第二蒸气管路、第一截止阀门、第二截止阀门、水雾容器和水蒸气检测单元；水流量计的出口通过第一进水管路与雾化器的进水端连接，对进入雾化器的纯水流量进行检测；第一进水阀门安装在第一进水管路上；雾化器通过第一蒸气管路与气室连接，第一截止阀门安装在第一蒸气管路上；雾化器通过第二蒸气管路与水雾容器连接，第二截止阀门安装在第二蒸气管路上；水蒸气检测单元安装在水雾容器内，对水雾容器内的水蒸气参

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219664148 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202223106552.X (22)申请日 2022.11.22 (73)专利权人江苏鲁汶仪器股