一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室.pdfVIP

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2023-09-14 发布于四川
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一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室.pdf

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本实用新型公开一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，涉及成膜设备技术领域，包括反应室上分体、反应室下分体和提升转移机构，反应室上分体与反应室下分体可拆分连接，反应室上分体上设置有电极盒；提升转移机构的输出端与反应室上分体连接；提升转移机构的输出端上还设置有电缆连接器，电缆连接器与供电电源、电极盒均通过电缆进行连接；本实用新型通过采用提升转移的方式实现将成膜反应室分段依次开启进行全面清洁维护的目的，不仅降低了清洁维护的难度，还可以提高效率；而且固定在提升转移机构输出端的电缆连接器与电极盒的位置

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219670711 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202320675851.0 (22)申请日 2023.03.31 (73)专利权人宁波恒普技术股份有限公司地址