原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型提供了一种拆装静电吸盘的装置，包括：基座、手摇杆和平衡受力机构，所述平衡受力机构包括：平衡受力组件、若干螺纹伸缩杆和若干静电吸盘固定件，其中，所述平衡受力组件包括：间隔叠放的星形结构的第一平衡受力杆和第二平衡受力杆。本申请通过旋转手摇杆，利用静电吸盘固定件带动静电吸盘工作台抬起或者降下，拆装更省时省力，节省了保养拆装静电吸盘机台的时间。进一步的，静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，在拆装过程中，使得与静电吸盘固定件固定连接的静电吸盘工作台平衡受
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219666473 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202321086570.8
(22)申请日 2023.05.08
(73)专利权人 华虹半导体（无锡）有限公司
地址
文档评论（0）