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一种真空大容量电控比例阀,包含由阀底座、中阀座、导引座构成的本体,本体具有一真空压力腔,该真空压力腔内具有一主膜片,该主膜片嵌设具真空阀门组的一先导排气直杆,该导引座内具有连通真空压力腔的一调整通道,一先导大气通道设于中阀座内通连至主膜片下方:该先导排气直杆配合中阀座上方形成第一真空破坏阀门,该真空阀门组上方配合阀底座内的上阀内壁形成第二真空破坏阀门,当导入外部大气压力推动启闭第一真空破坏阀门与第二真空阀门后,该阀底座内的直杆嵌座配合先导排气直杆下方形成第一阀门,当第一阀门开启后,使一次侧压力经
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210423900 U
(45)授权公告日
2020.04.28
(21)申请号 20192
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