一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头.pdfVIP

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2023-09-14 发布于四川
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一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头.pdf

本实用新型公开了一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，密封装置（3），所述的密封装置包括第一密封盖（301）、第二密封盖（302）以及第三密封盖（303），第一密封盖（301）、第二密封盖（302）、第三密封盖（303）以及上立柱（1）形成一个将滚珠丝杠（103）和导轨（102）包围的封闭空间。本实用新型采用步进电机直接驱动精密滚珠丝杠，同时配合多导轨的限制，进一步提高了提拉动作的稳定性，在整个提拉的过程中密封盖可阻挡运行过程中灰尘的进入，解决了提拉过程中运动部件的防尘密封问题，制得的晶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210420253 U (45)授权公告日 2020.04.28 (21)申请号 20192

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