原创力文档- 4
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- 2023-09-14 发布于四川
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本实用新型公开了一种双气源晶体生长炉自动化充气系统，包括晶体生长炉（1），它还包括第一气源支路（2）、第二气源支路（3）、电磁换向阀（4）、换气支路（5）以及处理器（9），电磁换向阀（4）和电动截止阀（10）同时动作实现第一气源支路（2）与第一单向气路的通断以及第二气源支路（3）与第二单向气路的通断，电动截止阀（10）为常闭阀。本实用新型根据晶体生长炉内的气体压力，通过电磁换向阀和电动截止阀同时动作实现第一气源支路与第一单向气路的通断以及第二气源支路与第二单向气路的通断，提高了晶体生长炉充气的自
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210420252 U
(45)授权公告日
2020.04.28
(21)申请号 20192
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