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本实用新型公开了一种晶圆盒传输机构，其技术方案要点是：包括输送皮带，输送皮带的下侧面边缘固定设置有多个均匀排列的夹取机构，夹取机构包括升降杆，升降杆的下端固定有水平的夹取杆，夹取杆可进行伸缩调节，且夹取杆的一端与升降杆的下端部固定连接，夹取杆的下侧靠近两端位置均可拆卸安装有对晶圆盒进行夹取的夹头，输送皮带对夹取机构进行连续的输送，并通过夹取机构上的夹取杆配合夹头对晶圆盒进行夹取，并通过升降杆对夹取的晶圆盒进行升降控制，从而实现对晶圆盒的夹取和连续性的传输，从而大大的提高清洗传输的效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219669142 U
(45)授权公告日 2023.09.12
(21)申请号 202320844581.1
(22)申请日 2023.04.17
(73)专利权人 晋康精密机械（上海）有限公司
地
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