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基板处理装置.pdfVIP

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  • 2023-09-14 发布于四川
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基板处理装置.pdf

    基板处理装置包含：基板保持单元，包含具有上表面的旋转基座以及立设于所述上表面的多个销，用以通过所述多个销保持基板；阻隔构件，具有：基板对向面，与被所述基板保持单元保持的基板的上表面对向；以及内周面，与被所述基板保持单元保持的基板的外周端以及所述旋转基座的外周端双方对向；旋转单元，使所述旋转基座以及所述阻隔构件绕着预定的旋转轴线旋转；以及正压生成构件，在被所述旋转基座的所述上表面、所述基板对向面以及所述内周面划分的空间中，以能伴随所述阻隔构件以及所述旋转基座中的至少一者的旋转而旋转的方式设置于比所

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111066127 A (43)申请公布日 2020.04.24 (21)申请号 201880

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