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CN209128527U一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置.pdfVIP

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  • 2023-09-15 发布于云南
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CN209128527U一种电子束蒸镀ITO膜的蒸镀装置.pdf

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209128527 U (45)授权公告日 2019.07.19 (21)申请号 201821782720.8 (22)申请日 2018.10.31 (73)专利权人 株洲火炬安泰新材料有限公司 地址 412007 湖南省株洲市天元区天易科 技城A5栋 (72)发明人 唐安泰　 (74)专利代理机构 广州粤高专利商标代理有限 公司 44102 代理人 任重　冯振宁 (51)Int.Cl. C23C 14/08(2006.01) C23C 14/30(2006.01)

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