质谱检漏设备.pdfVIP

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2023-09-15 发布于四川
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质谱检漏设备.pdf

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本实用新型提供一种质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，质谱检漏设备包括：支撑架、真空腔体、升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构、质谱检漏装置及控制装置。真空腔体设置为至少两个，且各真空腔体均放置在支撑架上，各真空腔体内设置有用于容纳待测箱体的容纳腔。升降机构设用于分别驱动所对应的各真空腔体的结合与分离。示踪气体源用于向待测箱体提供示踪气体。质谱检漏装置与真空腔体导通连接，用于检测容纳腔内的示踪气体含量，从而判断待测箱体是否合格。控制装置与升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构及质谱检漏

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210426899 U (45)授权公告日 2020.04.28 (21)申请号 20192